一、主要維修內容如下：

    1.爐膽更換（有效加熱區尺寸：600mm*400mm*400mm）；

    2.羅茨泵聯軸器更換；

    3.高閥氣缸及缸桶密封圈更換；

    4.擴散泵維護清理。

    二、維修后應達到指標要求：

    6.1能達到的最高溫度：1300攝氏度

    6.2溫度均勻性：小于等于正負5攝氏度（空爐9點測溫，溫度測試點500攝氏度、850攝氏度、1050攝氏度）

    6.3空爐升溫時間：小于等于60min（RT～1200攝氏度）

    6.4極限真空度：2*10-3Pa

    6.5抽真空速率：小于等于45min（冷爐抽至2*10-3Pa）

    6.6壓升率：小于等于0.5Pa/h

                                                                       聯系人：鄭工

                                                                       聯系電話：0917-3608609